槽车(液氩、液氮、液氧)
| 纯氩、高纯氩(GB/T4842-2006)、超纯氩(GB/T16945-2009) | |||
| 项目名称 | 指标 | ||
| 超纯氩 | 高纯氩 | 纯氩 | |
| 氩气(Ar)的体积分数/10-2 ≥ | 99.9999 | 99.999 | 99.99 |
| 氢气(H2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | 0.5 | 5 |
| 氧(O2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.2 | 1.5 | 10 |
| 氮(N2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.5 | 4 | 50 |
| 甲烷(CH4)的体积分数/10-6 ≤ | — | — | 5 |
| 一氧化碳(CO)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | — | 5 |
| 二氧化碳(CO2)的体积分数/10-6 ≤ | 0.1 | — | 10 |
| 总烃(以甲烷计)含量/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | — |
| 水分/10-6 ≤ | 0.2 | 3 | 15 |
| 注:表中纯度和含量均以体积分数表示(V/V)。 | |||